導讀：

高低溫濕熱試驗箱是芯片可靠性驗證的核心設備，其選型需聚焦溫度/濕度控制精度、負載能力及安全聯鎖功能。工程師需結合IEC 60749-20、JESD22-A101等標準，通過參數比對、現場驗收（FAT/SAT）及計量校準規避風險，確保測試結果可追溯。

目錄：

1. 快速答案卡片
2. 試驗目的與典型工況
3. 關鍵參數解析表
4. 選型決策流程
5. 詢價與驗收模板
6. 主流廠商對比表
7. 采購全流程Checklist
8. FAQ
9. 外部參考
10. 聲明

快速答案卡片：

• 核心參數：溫度范圍-70℃~+180℃，濕度范圍10%~98%RH，控制精度± ℃/±2%RH。
• 選型重點：負載能力（試樣尺寸≤500mm×500mm）、安全聯鎖（超溫/過載保護）。
• 標準依據：IEC 60749-20（半導體）、JESD22-A101（高溫工作壽命）。
• 價格區間：小型箱（50L）8萬~15萬，大型箱（500L）30萬~60萬。
• 維護周期：每3個月校準溫濕度傳感器，每年更換密封條。

正文結構：

試驗目的與典型工況

芯片在高低溫濕熱環境中可能因熱膨脹系數失配導致焊點開裂（JESD22-A121），或濕氣滲透引發電化學遷移（IPC-TM-650 ）。試驗需模擬以下場景：

• 高溫老化：125℃持續1000小時，驗證塑封材料熱穩定性。
• 溫濕度循環：-40℃~+85℃（濕度85%RH），每周期2小時，測試封裝體吸濕膨脹。
• 快速溫變：15℃/min升降溫速率，模擬極端環境切換。

關鍵參數解析表

選型決策流程

1. 需求確認：明確測試標準（如AEC-Q100）、試樣尺寸、循環次數。
2. 參數比對：優先選擇溫度范圍覆蓋-70℃~+180℃、濕度98%RH的設備。
3. 安全驗證：要求廠商提供TüV或CNAS認證報告。
4. 現場考察：重點檢查制冷系統（復疊式/單級壓縮）、加濕方式（蒸汽/電極）。

詢價與驗收模板

詢價單核心條款：

• 溫度波動度：≤± ℃（空載/滿載）
• 濕度控制：采用電容式傳感器，分辨率 %RH
• 數據記錄：支持USB導出，采樣率≥1次/秒

驗收清單：

• 使用標準溫度計（Fluke 1529）校準箱內5點溫度。
• 濕度驗證：采用維薩拉HM40傳感器，對比顯示值與實際值。
• 安全測試：模擬超溫（130℃）觸發報警并切斷電源。

主流廠商對比表

采購全流程Checklist

1. 需求分析：明確測試標準、試樣數量、預算。
2. 技術協議：約定溫度均勻性、濕度穩定性、安全聯鎖條款。
3. 報價對比：要求廠商提供分項報價（制冷系統占比約40%）。
4. FAT/SAT：工廠驗收測試（溫度校準、循環測試）。
5. 安裝調試：檢查地基承重（大型箱需≥500kg/m2）。
6. 計量認證：委托CNAS實驗室出具校準證書。
7. 維保合同：約定備件庫存（壓縮機、加濕器易損件）。

FAQ：

Q1：如何判斷試驗箱是否滿足AEC-Q100標準？
A1：需確認設備溫度范圍覆蓋-40℃~+150℃，濕度控制精度±2%RH，且通過TüV或CNAS認證。參考AEC-Q100-004高溫工作壽命測試條款。

Q2：試驗箱頻繁報警“濕度超限”怎么辦？
A2：檢查加濕器水位、排水管是否堵塞，或更換電容式濕度傳感器（建議選用維薩拉HMT330系列）。

Q3：小型芯片是否需要專用試驗架？
A3：需使用非金屬（PEEK）或陽極氧化鋁試驗架，避免金屬導熱干擾。試樣間距應≥20mm以保證氣流均勻。

Q4：如何降低試驗箱運行成本？
A4：采用液氮冷卻替代壓縮機制冷（節能30%），或選擇變頻壓縮機。定期清理冷凝器（每季度一次）。

Q5：進口設備與國產設備如何選擇？
A5：若測試標準嚴格（如車規級AEC-Q100），優先選德國Weiss或日本ESPEC；預算有限且測試要求一般，可選重慶四達（服務響應快）。

外部參考：

• IEC國際電工委員會：IEC 60749-20《半導體器件機械和氣候試驗方法》
• JEDEC標準：JESD22-A101《集成電路高溫工作壽命測試》
• 中國計量科學研究院：環境試驗設備校準規范（JJF 1101-2019）